#江森自控空调冷冻设备（无锡）有限公司、约克（无锡）空调冷冻设备有限公司、约克(我国)商贸有限公司HANGUANG (SHANGHAI) TECHNOLOGY CO.,LTD.Shanghai Jiusui Refrigeration Systems Engineering Co., Ltd.三氟化氮（NF3）作为电子用高科技化学品，大多数都用在半导体、液晶显示器和太阳能电池制作中的蚀刻和清洁气体。其出产的根本工艺首要是选用电解法（熔融NH4F·HF电解）或直接氟化法（氨与氟气反响），反响进程温度一般在100-140°C（电解法）或80°C以下（气相氟化法），以操控反响安全并提高产率。在出产的根本工艺中，制冷温度首要运用在于产品纯化和搜集阶段，由于NF3的沸点为-129.01°C，熔点为-206.79°C。纯化常选用低温精馏（cryogenic distillation）或真空蒸馏结合低温搜集办法，典型制冷温度规模为-100°C至-192°C（或144K至165K），用于液化NF3并别离杂质（如CF4、N2F2、CO2等）。这一进程能量密布，需求高效制冷系统以保持极低温，防止NF3分化（100°C易分化）并保证纯度达99.99%以上。关于乙二醇制冷机组：在NF3出产文献中未找到直接用乙二醇作为制冷剂的清晰记载。乙二醇（一般与水混合）常用于工业中低温制冷系统（如螺杆式冷冻机组），可完成-40°C至-50°C的冷却温度，适用于辅佐冷却或热交换（如设备外表冷却或反响器温度操控）。关于NF3纯化的极低温需求（-100°C），乙二醇机组一般不足以直接到达，或许需结合氨、氟利昂或级联制冷系统运用。若查询触及乙二醇机组在相似化工进程中的使用，其制冷温度取决于浓度（如30%乙二醇水溶液冻点约-13°C，60%约-50°C），但NF3工艺更依靠专用低温设备。
